【科技日報】二次資源利用讓難熔金屬“熔爐中重生”
發布日期：2019-03-27 供稿：科技日報 編輯：吳楠 審核：王征 閱讀次數：
原文標題：二次資源利用讓難熔金屬“熔爐中重生”
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鎢、鉭、鈮、錸和鉬……難熔金屬在原子能、航空航天、電子信息和醫學診療等涉及國家安全和國計民生的高科技領域具有極為重要的用途。但是，近10年來，世界鎢工業所消耗的大部分鎢資源來自中國，造成我國這類優質戰略資源的儲藏量大幅下降。
26日，記者從北京理工大學獲悉，十年磨一劍，由北京理工大學、中國船舶重工集團公司第七一八研究所、中國原子能科學研究院和昆明理工大學組成的項目團隊，在基于二次資源利用的高端難熔金屬產品研發及應用取得重大突破。
“通過應用基礎研究與產業化，項目組打通了從回收廢料，到電子級WF6氣體、超高純度鎢零部件等產品的全鏈條產業化技術，突破了WF6高效氟化制取及純化，高純度鎢靶材、鎢加熱體、異型鎢坩堝的常壓化學氣相沉積制造，基于尾氣利用的高純度超細鎢粉等離子化學法制備，副產物HF的F2/NF3和H2電解制取及其在WF6的制取和還原中的應用等關鍵技術。”該項目組負責人北京理工大學教授譚成文說。
歷經約10年努力，項目組研發出高純WF6、超高純鎢靶材、離子注入機用高純鎢部件、高性能鎢加熱體、高純異型鎢坩堝等系列高端產品。
譚成文說，其中，高純WF6純度達99.999%，滿足了半導體行業對于特種氣體的高純度要求，在英特爾、東芝、臺積電、中芯國際等國內外知名半導體企業獲得廣泛應用，國內市場占有率80%，國際市場占有率近25%，僅3年時間即實現單一產品年產值過億元，利潤率大于20%。隨著技術不斷改進，產品在相關企業的用量大幅提高，打破國外壟斷。超高純鎢靶材、離子注入機用高純鎢部件、鎢加熱體、異型鎢坩堝純度達99.999999%。
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